อนุภาคแบบละเอียดของซิลิคอน และการปนเปื้อนอนุภาคแบบหยาบของซิลิคอนมาจาก

Silicon (Si) ; ซิลิคอน อนุภาคสิ่งสกปรก และฝุ่นละอองสารเคมีปรุงแต่งพวกสารกันฟอง